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详细内容:采用海克斯康集团的核心技术;先进的全铝技术,极佳的刚性/质量比,保证高性能和高精度;X向横梁采 用超高精密三角梁(Tricision)技术,相比矩形横梁,重心更低,质量刚性比最佳,运动更加可靠,该领先技术受到专利保护;Y轴采用整体燕尾式导轨,在降低机器重量的同时,有效消除了运动扭摆,保证了测量精度和稳定性;Z向采取获得专利的气动平衡技术,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和长期稳定性;三轴均采用德国HEIDENHAIN光栅尺,系统分辨率可达0.078μm,同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩;各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位;采用海克斯康为Croma专业打造的IDC-1控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了机器的动态性能和测量精度;
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