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详细内容:CVD(G)系列真空高温管式炉专门设计用于高温CVD工艺,如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,国产优质硅钼棒加热,优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空,气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制,设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。 一、 技术指标: 设 备 型 号 NT-CVD(G)-08/50/1 温区最高温度 1650℃;(最长恒温时间:≥10小时);常用温度:1600℃ (最长恒温时间:≥100小时) 加热有效容积 Φ72(内经)×500mm;恒温区尺寸:Φ72(内经)×250mm 炉管实际尺寸 Φ80(外径)×1400mm (国产优质刚玉管) 炉 膛 材 料 氧化铝纤维制品 控制温区点数 1个,1支B分度热偶 设备温场温差 ±1℃ ,日本岛电进口40段程序控制仪表(1只) 加 热 元 件 优质硅钼棒 最大加热功率 12Kw 保 温 功 率 5kw 最大升温速率 3℃∽10℃/min; 最大降温速率 3℃∽7℃/min 温度均匀性 ±3℃(有效范围:Φ72×250mm) 气路配件材料 气路配件材料,端头不锈钢发兰密封, 一路气体采用浮子流量计控制, 所有管道和阀门采用不锈钢元件 极 限 真 空 ≤10Pa(常温) ,一级机械泵(配电磁阀)。 压升率 ≤5Pa/h 1000时可抽真空,能通保护氮气 外型参考尺寸 1250(L)×1650(H)×650(D)mm 输入动力电源 单相电源,50HZ ,220V±10%;10KW 炉体表面温升 ≤45℃
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